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  • MEMS氣體傳感器具有廣大的應用市場和潛力

    2021-12-14 15:53:36 精訊暢通

    背景:

    MEMS氣體傳感器不同于其他的物理類氣體傳感器芯片。它涉及化學、材料、自動化、精密儀器、電子、半導體制造、軟件與算法等多種學科中的技術。這就導致其制造難度大,工藝流程復雜。

    MEMS氣體傳感器介紹:

    目前,應用市場上的MEMS氣體傳感器大多以單晶硅材料為基底,MOS金屬氧化物組份為氣體敏感元件。當氣敏元件暴露在有被測氣體的空氣中,氣體會與它們發生作用,引起電導率或電阻率的變化,產生包含氣體成分和濃度的電信號,經過信號處理電路處理后,即可識別氣體的成分和濃度。

    圖片關鍵詞

    MEMS半導體氣敏傳感器采用微電子技術中的成膜工藝,在硅襯底上淀積金屬氧化物敏感層,利用敏感層下的電阻做加熱器,利用二極管做測溫元件,必要的信號電路和讀出電路也可以集成在同一硅芯片上。

    MEMS微氣體傳感器的特點在于將加熱電極、絕緣層和測試電極一層一層依次堆積疊加在一起。

    技術水平的不斷進步,使得市場上對小體積、低功耗、智能化、模塊化的氣體傳感器的需求越來越大,特別是在物聯網等泛在應用的推動下,MEMS傳感器的應用空間也越來越廣闊。

    應用:

    基于MEMS工藝的半導體敏感材料(MOS)氣體傳感器開始在智能家電、智能家居、移動穿戴、物聯網環境監測、樓宇控制以及醫療健康早期篩查等的氣體檢測領域廣泛應用。

    一直以來,氣體傳感器在物聯網發展中扮演關鍵角色,采暖、通風和空調(HVAC)系統、空氣凈化器、智能窗戶、汽車、醫療器械、大氣環境監測、石油化工產業等等各種行業都有氣體傳感器的身影。


    標簽: 氣體傳感器
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